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企業一般在單晶爐內設置冷卻結構

2024-02-25


    單晶(jing)爐(lu)(lu)是利用石墨(mo)加(jia)熱器(qi)在惰性氣(qi)體(主要是氮氣(qi)和(he)氦氣(qi))環(huan)(huan)境中熔化(hua)多晶(jing)硅(gui)等多晶(jing)硅(gui)材料,采用齊(qi)拉斯基法生長(chang)無位錯(cuo)單晶(jing)的(de)一種設備。它(ta)的(de)內部結構*其(qi)復雜。但是單晶(jing)硅(gui)棒(bang)的(de)生產對環(huan)(huan)境要求非常高(gao)。如果爐(lu)(lu)體溫度過高(gao),爐(lu)(lu)體會變(bian)形,影響設備尺寸(cun)和(he)單晶(jing)硅(gui)棒(bang)的(de)生長(chang)。如果爐(lu)(lu)體長(chang)期處于高(gao)溫環(huan)(huan)境的(de)工作狀(zhuang)態,爐(lu)(lu)體上會出現(xian)裂紋(wen),對爐(lu)(lu)體造成損壞,降低爐(lu)(lu)體的(de)使(shi)用壽命。

   為了降(jiang)低單(dan)晶爐(lu)工作過程中的(de)溫度,一般(ban)在單(dan)晶爐(lu)內設置冷(leng)卻(que)結構,通(tong)過冷(leng)卻(que)水循環系(xi)統(tong)將單(dan)晶爐(lu)內的(de)熱(re)量(liang)帶走,從而降(jiang)低單(dan)晶爐(lu)內的(de)溫度。但是,水冷(leng)卻(que)系(xi)統(tong)需要配備冷(leng)水機組、冷(leng)卻(que)池、冷(leng)卻(que)水泵、熱(re)交換器等設備。整個系(xi)統(tong)結構復雜,占用(yong)(yong)空(kong)間大,對水質和流量(liang)有特殊要求(qiu)。安裝和使用(yong)(yong)困難。

半導體(ti)工藝設備為大規模半導體(ti)制造提(ti)供了制造基礎。描繪(hui)電子(zi)產業(ye)未來(lai)的摩爾定律,將導致未來(lai)半導體(ti)器件的集成化(hua)和小型化(hua)程度更高(gao),功能更強。

單晶爐

單晶(jing)(jing)爐是一種全自動(dong)直拉(la)單晶(jing)(jing)生長爐,是利用(yong)石墨加熱器(qi)在惰性氣(qi)(qi)體(氮氣(qi)(qi)、氦氣(qi)(qi))環境中熔化多晶(jing)(jing)硅等(deng)多晶(jing)(jing)材料,采用(yong)直拉(la)法生長無(wu)位錯單晶(jing)(jing)的設(she)備。

單晶硅爐(lu)(lu)的(de)模型有兩種命(ming)名(ming)方(fang)法,一種是進料量,另一種是爐(lu)(lu)膛直徑(jing)。如120、150等型號由進料量決定,85爐(lu)(lu)指的(de)是主爐(lu)(lu)筒直徑(jing)。

單晶硅爐的主(zhu)體由(you)主(zhu)機(ji)、加(jia)熱(re)電源(yuan)和計算機(ji)控制系統(tong)組成。


制冷機主要應用于空調冷卻系統、冷凍系列、注塑、制革、發泡、發電、汽輪機、鋁型材加工、空壓機、工業水冷卻等領域,應用最多的為空調冷卻、冷凍、塑膠化工行業。
工業生產或制冷工藝過程中產生的廢熱,一般要用冷卻水來導走。冷卻塔的作用是將挾帶廢熱的冷卻水在塔內與空氣進行熱交換,使廢熱傳輸給空氣并散入大氣中。
例如:火(huo)電(dian)廠(chang)內,鍋爐將水(shui)加熱成高溫(wen)高壓蒸汽(qi),推動汽(qi)輪機(ji)(ji)做功(gong)使發電(dian)機(ji)(ji)發電(dian),經(jing)汽(qi)輪機(ji)(ji)作功(gong)后的廢(fei)汽(qi)排入(ru)冷(leng)凝器,與冷(leng)卻(que)水(shui)進行熱交換凝結(jie)成水(shui),再用水(shui)泵打回鍋爐循環使用。這一過程中乏汽(qi)的廢(fei)熱傳給(gei)了(le)冷(leng)卻(que)水(shui),使水(shui)溫(wen)度升高,挾帶廢(fei)熱的冷(leng)卻(que)水(shui)。


單晶硅片的工藝流程

硅(gui)(gui),地球上有很(hen)多含硅(gui)(gui)的(de)東(dong)西(xi)。似乎90%以上都是(shi)晶硅(gui)(gui),也就是(shi)單(dan)晶硅(gui)(gui)。太(tai)陽(yang)能級(ji)硅(gui)(gui)的(de)純度在6N以上。

首先是石(shi)頭(所有(you)(you)的(de)石(shi)頭都(dou)含有(you)(you)硅)。將石(shi)頭加熱至(zhi)液態(tai),再(zai)加熱至(zhi)氣(qi)(qi)(qi)態(tai)。讓(rang)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)通(tong)過一個(ge)(ge)密封的(de)大盒子(zi)(zi)(zi)(zi)。盒子(zi)(zi)(zi)(zi)里有(you)(you)N個(ge)(ge)以上的(de)子(zi)(zi)(zi)(zi)晶(jing)體(ti)(ti)用于(yu)加熱,兩端用石(shi)墨夾緊(jin)。當氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)穿過盒子(zi)(zi)(zi)(zi)時,子(zi)(zi)(zi)(zi)晶(jing)體(ti)(ti)會將其中一種氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)吸收到子(zi)(zi)(zi)(zi)晶(jing)體(ti)(ti)上,子(zi)(zi)(zi)(zi)晶(jing)體(ti)(ti)就會逐漸(jian)變(bian)厚。因(yin)為氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)變(bian)成(cheng)固體(ti)(ti),很(hen)慢,大約一個(ge)(ge)月左右,盒子(zi)(zi)(zi)(zi)里有(you)(you)很(hen)多(duo)長(chang)初級(ji)多(duo)晶(jing)硅。

單晶硅芯(xin)片由此(ci)進入生(sheng)產過程:

1. 酸洗:用稀硝酸HNO3進(jin)行(xing)清洗,去除精(jing)煉(lian)過(guo)程中產生(sheng)的表(biao)面雜質(zhi)和四(si)氯化硅。

2. 清洗:清洗酸洗后(hou)硅材料的(de)殘留雜質(zhi)。

華祥工業冷水(shui)機廠(chang)家提供單晶硅(gui)爐冷卻,單晶硅(gui)爐制冷解決方案,單晶硅(gui)爐冷凍,價(jia)格合理,品質保證(zheng)。